|
|
Aplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeních
Kormoš, Lukáš ; Drbohlavová, Jana (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce)
Táto diplomová práca je zameraná na aplikácie a výrobu grafénovej membrány z grafénu vyrobeného pomocov chemickej depozície z plynnej fáze. Teoretická časť sa zaoberá transportnými vlastnosťami grafénu a viacerými rozptylovými procesmi, ktoré obmedzujú pohyblivosť nosičov náboja v tomto materiáli. Súčasťou teoretickej časti je krátka recenzia aplikácií grafénových membrán. Experimentálna časť prezentuje výrobný proces pre dosiahnutie zaveseného grafenového zariadenia s využitím elektrónové litografie, fokusovaného zväzku iónov, chemického leptania a tvarovanie grafenovej vrstvy. Grafénová membrána je charakterizovaná meraním transportných vlastností a tieto sú následne porovnané s grafénom položeným na substráte.
|
|
|
Výroba membrán pomocí anizotropního leptání křemíku
Balajka, Jan ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Urbánek, Michal (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá přípravou membrán z oxidu křemičitého (SiO2) na křemíkovém (Si) substrátu pomocí anizotropního leptání křemíku. Masky pro anizotropní leptání křemíku byly vytvořeny pomocí elektronové litografie a chemického leptání SiO2. V práci jsou popsány jednotlivé kroky postupu přípravy membrán včetně použitých experimentálních podmínek. Za účelem optimalizace pracovního postupu bylo provedeno několik měření rychlosti leptání Si/SiO2 v různých roztocích. Výsledky těchto měření jsou zde rovněž uvedeny. Připravené membrány byly charakterizovány pomocí optické mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a spektroskopické reflektometrie. Součástí práce je i popis metod použitých pro přípravu a analýzu definovaných struktur připravených pomocí anizotropního leptání křemíku.
|
|
|
Tvorba nanostruktur a nanosoučástek pro oblast nanoelektroniky a spintroniky
Lišková, Zuzana ; Červenka, Jiří (oponent) ; Čech, Vladimír (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Práce pojednává o vytváření grafenových nanostruktur a jejich aplikacích při měření transportních vlastností grafenu. Na vyrobených exfoliovaných šupinkách grafenu, CVD grafenových vrstvách a zrnech jsou vytvářeny kontakty litografií elektronovým svazkem pro měření jejich odporu. Grafen je rovněž stejnou metodou tvarován. Rezistivita vrstvy, koncentrace a pohyblivost nosičů náboje jsou stanoveny pomocí různých přístupů. Diskutována je také hystereze objevující se v závislosti rezistivity na hradlovém napětí. Významná část práce je věnována sledování odezvy odporu grafenu na změnu relativní vlhkosti prostředí a případnému využití grafenu jako senzoru relativní vlhkosti.
|
|
|
Průmyslové aplikace optických nanoantén
Binková, Petra ; Édes, Zoltán (oponent) ; Babocký, Jiří (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou optických nanoantén pomocí elektronové litografie a jejich následným využitím v průmyslu. Byly navrhnuty optické komponenty, které by bylo možné využít jako ochranné prvky proti padělání plastových bankovek, ID karet, kreditních karet a podobně. Navržené struktury byly následně úspěšně vyrobeny a otestovány.
|
|
|
Selektivní růst GaN nanostruktur na křemíkových substrátech
Knotek, Miroslav ; Novák, Tomáš (oponent) ; Voborný, Stanislav (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá depozicí tenkých vrstev nitridu gallia na křemíkové substráty pokryté maskami z negativního rezistu HSQ. Rezist byl strukturován elektronovou litografií za účelem vytvoření masek, ve kterých bylo dosaženo selektivního růstu GaN krystalů. Růst vrstev GaN byl prováděn pomocí metody MBE. Byly studovány různé podmínky depozice pro dosažení požadovaného selektivního růstu.
|
|
|
Transportní vlastnosti jednotlivých grafenových zrn
Vysocký, Filip ; Kormoš, Lukáš (oponent) ; Procházka, Pavel (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřena na výrobu jednotlivých grafenových zrn metodou chemické depozice z plynné fáze, jejich přenos na nevodivý substrát a následnou výrobu grafenových polem řízených tranzistorů. Teoretická část práce pojednává převážně o různých způsobech výroby grafenu. V praktické části práce je popsána výroba grafenových polem řízených tranzistorů elektronovou litografií a měření jejich transportní vlastností.
|
|
|
Studie prostorově modulovaných magnetických struktur
Dočkalová, Lucie ; Staňo, Michal (oponent) ; Turčan, Igor (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá experimentální přípravou a statickou charakterizací magnetizace prostorově modulovaných magnetických nanostruktur. Cílem práce je využít inovativní metody v oblasti nanofabrikace a vyrobit tak magnetické struktury s vlastnostmi, jichž není možné dosáhnout standardními litografickými postupy. Na začátku je čtenář seznámen s teoretickými základy mikromagnetismu, přičemž je kladem důraz na magnetickou anizotropii. Samotná příprava vzorku je obsahem druhé části práce. Zde jsou popsány použité techniky: elektronová litografie (EBL) a depozice indukovaná fokusovaným elektronovým svazkem (FEBID). V experimentální části jsou pomocí Kerrovy mikroskopie vyhodnoceny statické magnetické odezvy vyrobených prostorově modulovaných magnetických struktur a jsou porovnány se statickými odezvami struktur planárních. Mimo jiné je změřena výška vyrobených prostorových magnetických modulací pomocí mikroskopu atomárních sil (AFM) a je vyhodnocen její vliv na velikost indukované magnetické anizotropie. V průběhu studie je zjištěno, že vyrobené modulace vytváří uniaxiální anizotropii, pomocí které je možné ovlivnit preference směru vektoru magnetizace.
|
|
|
Optické vlastnosti asymetrických plasmonických struktur
Babocký, Jiří ; Kolařík, Vladimír (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá studiem rezonančních módů v asymetrických plasmonických strukturách. V první části jsou shrnuty základní teoretické modely pro popis rezonančních módů plasmonických nanostruktur. V další části je popsána technologie elektronové litografie. Experimentální část popisuje technologické procesy vedoucí k zlepšení výsledků elektronové litografie při použití lift-off zpracování. Poslední kapitola se zabývá studiem reflexních spekter plasmonických antén a identifikací jednotlivých nabuzených módů.
|
|
| |
|
|
Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Babocký, Jiří ; Dvořák, Petr (oponent) ; Kvapil, Michal (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie.
|
host ::
RSS.